Предлагаемая схема сшивки в процессе МСО

Диэлектрические свойства полученных пленок 

Синтез SiAlCO полимерной керамики на основе кремния путем термической постобработки МСО пленок

 Технология получения пленок SiC с использованием метода молекулярно-слоевого осаждения

 Схема осаждения

 Анализ конформности и равномерности пленок SiC на Si, полученных на основе АСО

 Атомно-слоевое осаждение нанопленок Ti O2 легированного атомами ванадия 

Продукты термической обработки титан-ванадиевых оксидных АСО пленок на воздухе 

 Атомно-слоевое осаждение нанопленок TiO2 легированного атомами молибдена